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半導體( semiconductor),指常溫下導電性能介於導(dǎo)體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。半導(dǎo)體在收音機、電視機以及測溫上有(yǒu)著(zhe)廣泛的應用。如(rú)二極管就是采用半導體製作的器件。半導體是指一種導電性可受控製,範圍可(kě)從(cóng)絕緣體至導體之間的材料。無論(lùn)從科技(jì)或是經濟發(fā)展的角度來看(kàn),半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品,如計算機、移動電話或(huò)是數字錄音機(jī)當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連。常見的半導體材料(liào)有矽、鍺、砷化镓(jiā)等,而(ér)矽更是各種半導體(tǐ)材料中,在商業應用上(shàng)最具有影(yǐng)響(xiǎng)力(lì)的一種。
半導體材(cái)料生產過(guò)程中汙染氣體的主要成分(fèn)為:一氧化二氮(N2O)、一氧化氮(dàn) (NO)、二(èr)氧化氮(NO2)、三氧化(huà)二氮 (N2O3)、四(sì)氧化二氮(N2O4)和(hé)五(wǔ)氧化二氮(N2O5)、HF等。
乙方對此項目的廢氣進行淨化處理,包括廢氣處理方案、設計(jì)、施工及安裝調(diào)試。
汙染氣(qì)體的(de)主要成分為(wéi):一(yī)氧化二氮(dàn)(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五(wǔ)氧化(huà)二氮(N2O5)、HF等。
一(yī)氧化氮(dàn) (NO)為無色氣體,分子量30.01,熔點-163.6℃,沸點-151.5℃,蒸氣壓101.3lkPa(-151.7℃)。溶於乙醇、二(èr)硫化碳(tàn),微溶於水和(hé)硫酸,水中溶解度4.7% (20℃)。性質不穩定,在空氣中易氧化成二(èr)氧化氮 (2NO+O2→2NO2)。一氧(yǎng)化氮結合血紅蛋白的能力比(bǐ)一氧化碳還強,更容易造成人(rén)體缺氧。不過,人們也發現了它在生物學方麵的獨特作用。一氧化氮分(fèn)子作為一種傳遞神經信息的信使分子 ,在使血管(guǎn)擴張,免(miǎn)疫,增強記憶力等方麵有著及其重要的作用。
二(èr)氧化氮 (NO2)在21.1℃溫度時為紅棕(zōng)色刺鼻氣體;在21.1℃以(yǐ)下時呈暗褐色液體。在-ll℃以下溫度時為無(wú)色固體,加壓液體為四氧化二氮。分子量46.01,熔點-11.2℃,沸點 21.2℃,蒸氣壓101.3lkPa(2l℃),溶於堿、二硫化碳(tàn)和氯仿,微溶於水。性質較穩定。二氧化氮溶於(yú)水時生成硝酸和一氧化氮。工業上利用(yòng)這一原(yuán)理製取硝酸。二氧化氮能使多種織(zhī)物褪色,損壞多種織物和尼龍製品,對金屬和非(fēi)金屬材料也有腐蝕作用。
HF是由(yóu)氟元素與氫元素(sù)組成的二元化合(hé)物(wù),它是(shì)無色有刺激性氣味的氣體 ,是一種一元弱酸。氟(fú)化氫的水(shuǐ)溶液(yè)稱作氫氟酸。氟化氫及其(qí)水溶液均有毒性,容易使骨(gǔ)骼、牙齒畸形,氫氟酸可以透過皮(pí)膚被黏膜、呼吸(xī)道及腸(cháng)胃(wèi)道吸(xī)收。
氮氧化物(wù)可(kě)刺激肺部,使人較難抵抗感冒之類的呼吸係統疾病,呼吸係統有問題的人士如哮喘病患者,會較易(yì)受二氧化氮影響。對兒童來說,氮氧化物可能會造成肺部發育受損。研究指出長期(qī)吸入氮氧化物可能會導致肺部(bù)構造改變,但仍未可確定導致這種後果的氮氧化物含量及吸入氣體(tǐ)時間。
以一氧化氮和二氧化氮為主的氮氧化物是形成(chéng)光化學煙霧和酸(suān)雨的一(yī)個重要(yào)原因.汽車尾氣中的氮氧化物與碳氫化合物經紫外線照射(shè)發生反應(yīng)形成的有毒(dú)煙霧,稱為光化學煙霧.光化學煙霧具有特殊氣味,刺激眼睛,傷害植物,並能使大氣能見(jiàn)度(dù)降低.另外(wài),氮氧化物(wù)與空氣中的水反應生成的硝酸和亞硝酸是酸(suān)雨的成分.大氣中的氮氧化物主要(yào)源於化石(shí)燃(rán)料的燃燒和植物體的焚燒,以及農(nóng)田土壤和動物(wù)排泄物中含氮(dàn)化(huà)合物的轉化.
江蘇星空无限传媒官网環(huán)保處理半導體材料氮氧化物酸洗廢氣工藝(yì)如下:
NOx廢氣的治理方法大致可(kě)以分為(wéi)燃燒控製技(jì)術、爐(lú)內噴射吸收劑以及煙氣脫硝(xiāo)技術等,按脫硝裝置所處位置可分為生產過程中(zhōng)控製(zhì)和過程後處理。工業廢氣中NOx的脫除技術一般采用過程後處理,又可分為幹法和濕(shī)法兩大類。 幹法包括催化還原法、催化分解法、吸附法(fǎ)等。濕法包括堿吸收、還(hái)原吸收、氧化(huà)吸收和絡合吸收(shōu)等。與幹法相比(bǐ),濕法具有工藝設備簡單、操(cāo)作費用低廉、吸收(shōu)劑種類多、適應性強等優點(diǎn)。從吸收液的成本(běn)考慮,可采用堿液吸收,其產生副產(chǎn)物NaNO2和NaNO3可以回(huí)收利(lì)用。
堿液吸收法:堿性溶液指的是(shì)鈉、鉀、鎂等離子的氫氧化物或(huò)弱酸鹽溶液。堿液吸(xī)收法不但(dàn)可將NOx去除,所得亞硝酸鹽產物還可用作防腐劑、防凍劑等,具有一定(dìng)的市場價值。
KOH吸收液雖然反應活性相(xiàng)對(duì)值較高,因(yīn)其價高貨(huò)源少,所以使用的較少,實際廣泛使(shǐ)用的吸收劑主(zhǔ)要是NaOH 和Na2CO3。
采用Na2CO3吸收NOx的效果不如NaOH,原因是Na2CO3的濃度降(jiàng)至(zhì)1.5-5%時,吸收效果急(jí)劇下(xià)降,而NaOH則無此效(xiào)應,另(lìng)外Na2CO3吸收時產生的CO2將降低NOx在(zài)溶液中的溶解度。因此堿液中使用最多的是NaOH。
由於本項目廢氣處理量較大,且濃度較高,結合(hé)甲方(fāng)要求,本項目采(cǎi)用三級噴淋填料塔對廢氣進行處理,每(měi)個塔采用二級噴淋,循(xún)環噴(pēn)淋溶液均為NaOH和Na2S的混合液。
其中一級塔NaOH濃度控(kòng)製在4%-8%左右(主要(yào)是為了去除廢氣中的硝酸、氫氟酸(suān)),Na2S濃(nóng)度控製在2%左右,二級塔NaOH濃(nóng)度控製在2%左(zuǒ)右,Na2S濃度控(kòng)製在2%左右,三級塔NaOH濃度(dù)控製在2%左右,Na2S濃(nóng)度控製在2%左右。
具體配堿濃度還要依據實際運行情況不斷調整以到達最優運行條件,液氣比越大,空塔速度越低,淨化(huà)效率就越高。
廢氣經管(guǎn)道收集後進入(rù)廢氣處理係統,廢氣經管道(dào)進入一級噴淋填料塔進行處理,其主要作用是利用堿性溶液吸收HF酸性氣體、硝(xiāo)酸氣體和部(bù)分NO2氣體,其中Na2S起到還原作用,提高脫氮效率(lǜ),之後廢氣再經過二、三級(jí)噴淋填料塔處理,之後廢氣通過風機、排氣筒達標(biāo)排放(fàng)。此工藝不僅處(chù)理效率高,能高效去除汙染物,而且運行維護費用低。